Méthode de production de micropoudre de silicium

Le procédé au trichlorosilane consiste tout d'abord à ajouter de la poudre de silicium sèche au four de synthèse et à subir une réaction de chloration avec le gaz chlorhydrique sec introduit en présence d'un catalyseur au chlorure cuivreux à 5 degrés Celsius. Le gaz de réaction est séparé par un cyclone pour éliminer les impuretés, puis le trichlorosilane gazeux est condensé en un liquide à l'aide d'eau salée congelée au chlorure de calcium. Il est distillé et condensé dans une tour de distillation brute pour éliminer les substances à haut et bas point d'ébullition, puis distillé et condensé dans une tour de distillation pour obtenir un liquide de trichlorosilane raffiné. La pureté doit atteindre 7 ou plus de 9, la teneur en impuretés doit être inférieure à 1 × 4 et la teneur en bore doit être inférieure à 0,5 × 7. Le trichlorosilane purifié est envoyé dans un four de réduction en acier inoxydable, où de l'hydrogène gazeux ultra-pur est utilisé comme agent réducteur pour le réduire en silicium à 8 degrés Celsius. La tige de noyau de silicium est utilisée comme support pour déposer des produits en silicium polycristallin.

Deuxièmement, mélanger de la silice avec une teneur en SiO2 d'environ 95 % et du coke à faible teneur en cendres, chauffer à environ 1900 degrés pour la réduction. La pureté du silicium produit par cette méthode est de 97 % à 98 %, ce qui est appelé silicium métallique. Après avoir fondu le silicium métallique, il subit une recristallisation et les impuretés sont éliminées avec de l'acide pour obtenir du silicium métallique d'une pureté de 99,7 % à 99,8 %. Pour le transformer en silicium semi-conducteur, il est nécessaire de le convertir en une forme liquide ou gazeuse facile à purifier, puis d'obtenir du silicium polycristallin par des processus de distillation et de décomposition. Pour obtenir du silicium de haute pureté, un traitement de purification supplémentaire est nécessaire.

Troisièmement, mélangez de la silice avec une teneur en SiO2 d'environ 95 % et du coke avec une faible teneur en cendres, et utilisez un four à arc ouvert de 1000-3000 kVA pour chauffer à environ 1900 degrés pour la réduction.